電子級(VLSI)氯化氫產品生產裝置於2003年投產,經北京市科委鑑定,主要用於半導體器件生產中單晶硅片的氣相拋光、外延基座腐蝕及硬質合金製造。
5.0N電子級(VLSI)氯化氫產品分別經國家標準物質研究中心和信息產業部專用材料質量監督檢驗中心抽樣檢驗,純度大於99.999%,總雜質含量小於5ppm,產品性能指標與國際品牌相當。
5.0N電子級(VLSI)氯化氫產品經國內外多家半導體重點企業連續大量在單晶硅片氣相拋光和外延基座腐蝕工藝中廣氾使用,制得的器件產品質量與國際 品牌相當。
高純氯化氫系列產品處 地位,填補了國內空白, 生產,並通過ISO9001:2000質量體系認証,產品質量可靠。 產 品 包 裝:
氯化氫氣體為強刺激性,不燃氣體,溶水后有強烈腐蝕性。產品包裝于高壓專用鋼瓶中,處於液態。專用鋼瓶為鋼質無縫氣瓶,瓶內拋光處理。瓶閥為抗腐蝕不鏽鋼隔膜閥。鋼瓶設計壓力為12.5Mpa,工作壓力約5-6Mpa。